熱壓（Thermo-Compression, TC）鍵合技術指通過加熱與加壓協(xié)同作用，實現(xiàn)金屬間的冶金結(jié)合，盡管其部分應用場景已被更高效的方法替代，但熱壓鍵合所蘊含的參數(shù)優(yōu)化邏輯、界面科學認知及質(zhì)量控制理念，至今仍深刻影響著現(xiàn)代封裝工藝的開發(fā)與評價體系。

作為深耕材料測試與工藝分析領域的團隊，科準測控始終關注封裝技術中基礎而關鍵的課題。本文將從技術原理出發(fā)，系統(tǒng)解析熱壓鍵合的經(jīng)典參數(shù)設置，并探討其如何通過科學量化與精準測試，持續(xù)為現(xiàn)代封裝工藝提供啟示與支撐。

一、熱壓鍵合核心參數(shù)

熱壓鍵合的質(zhì)量主要取決于三個關鍵參數(shù)的協(xié)同作用：溫度、時間與壓力。對于經(jīng)典的25μm金絲在鋁或金焊盤上的鍵合，經(jīng)過大量實驗驗證的優(yōu)化參數(shù)組合為：

溫度：300℃

這一溫度能有效促進Au與Al原子間的相互擴散，形成穩(wěn)定的金屬間化合物層，是實現(xiàn)冶金結(jié)合的能量基礎。同時，它平衡了反應速率與熱損傷風險，避免溫度過高導致器件性能退化或界面過度脆化。

時間：0.2秒

這是保證原子充分擴散形成連續(xù)界面層所需的最短有效時間。該時長在確保鍵合強度的前提下，提升生產(chǎn)效率。

壓力：100–125克力 (gf)

足夠的壓力能破除金屬表面的微觀氧化層與輕微污染物，實現(xiàn)純凈金屬間的緊密接觸。

此壓力范圍在促進塑性變形以增大接觸面積的同時，避免了對脆弱芯片結(jié)構(gòu)的機械損傷。

這三個參數(shù)并非獨立作用，而是構(gòu)成一個精密的工藝窗口。例如，在一定范圍內(nèi)，提高溫度可以適當縮短鍵合時間；而增加壓力則有助于在稍低溫度下達成同樣的鍵合效果。這種多參數(shù)協(xié)同優(yōu)化的思想，是現(xiàn)代封裝工藝開發(fā)的基石。

常見熱壓鍵和臺結(jié)構(gòu)

二、參數(shù)的深層科學：應對現(xiàn)實挑戰(zhàn)的工程設計

上述參數(shù)組合的穩(wěn)健性，尤其體現(xiàn)在其對實際生產(chǎn)環(huán)境挑戰(zhàn)的包容度上：

1.  污染容忍機制：當焊盤表面存在微量有機污染物時，300℃的高溫可使其熱分解或揮發(fā)，同時鍵合壓力能將其機械排出界面。0.2秒的鍵合時間則為這一凈化過程提供了窗口。這使得該參數(shù)設置在非理想條件下仍能保持較高的鍵合成功率與強度。

2.  界面反應控制：在300℃下，Au-Al系統(tǒng)會形成多種金屬間化合物（如AuAl?、Au?Al等）。0.2秒的鍵合時間被精確控制，以形成一層均勻、連續(xù)且厚度適中的界面化合物層。這層化合物是鍵合強度的主要來源，但過厚則會變脆。經(jīng)典參數(shù)正在于取得強度與韌性平衡。

3. 工藝穩(wěn)定性基礎：這一經(jīng)過充分驗證的參數(shù)組合，為早期的大規(guī)模生產(chǎn)提供了至關重要的可重復性與一致性，確立了通過嚴格控制有限幾個關鍵變量來實現(xiàn)高質(zhì)量生產(chǎn)的工程范式。

三、從經(jīng)典到現(xiàn)代：熱壓鍵合的技術遺產(chǎn)

熱壓鍵合最重要的遺產(chǎn)之一，是推動了量化測試與工藝優(yōu)化閉環(huán)的建立。為了評價其鍵合質(zhì)量，焊球剪切測試被廣泛發(fā)展和標準化。通過剪切力值這一量化指標，工程師得以反向精確調(diào)整溫度、時間、壓力參數(shù)，形成了“測試-分析-優(yōu)化"的科學工藝開發(fā)流程。這一數(shù)據(jù)驅(qū)動的辦法，已融入當今任何封裝技術的研發(fā)體系。

此外，對熱壓鍵合界面失效模式（如空洞、弱界面層、過度脆化）的深入研究，為后續(xù)所有鍵合技術的可靠性評估與失效分析積累了最初的知識庫與評判標準。

熱壓鍵合的歷史表明，工藝的進步始終離不開對關鍵參數(shù)的精確界定與測量。科準測控所提供的微電子封裝專用力學測試系統(tǒng)，正是承襲了這一核心理念，為現(xiàn)代封裝工藝的開發(fā)與質(zhì)量控制提供關鍵工具，通過測量技術與數(shù)據(jù)分析方案，將這種工程智慧延續(xù)至今，助力業(yè)界在不斷演進的材料、結(jié)構(gòu)與工藝中，持續(xù)探索并鎖定那個通往可靠性的“工藝窗口"。